氣體質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：G300質(zhì)量流量計(jì)

更新時(shí)間：2024-07-01

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簡(jiǎn)要描述：G300熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)配高精度傳感器和 數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測(cè)量及控制所需的所 有基本功能。G300 系列采用標(biāo)準(zhǔn)的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴(kuò)展 至 255 臺(tái)設(shè)備同時(shí)使用。

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G300 質(zhì)量流量計(jì)特點(diǎn)

? 高精度、高分辨率控制

? 低功率，功率＜0.5W

? 集成 20 種基礎(chǔ)氣體種類 

? 可自定義 10 種混合氣體 

? 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式 

? 寬流量量程范圍 

? 無(wú)需預(yù)熱 

? 無(wú)安裝方向限制 

? 具有高重復(fù)性和高可靠性

? 自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍 0-50℃

? 具有高穩(wěn)定性

? 小封裝尺寸 量程及精度簡(jiǎn)介

? 可用量程： 

? 最大 0-50slpm 

? 最小 0-1sccm 

? 常備量程請(qǐng)參考選型表 

? 量程比：1000:1 

? 滿量程精度：±0.2% 

? 讀取精度：±0.8% 

? 可重復(fù)性：±0.2%FS 

數(shù)字式設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介

G300 系列質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)配高精度傳感器和 數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測(cè)量及控制所需的所 有基本功能。G300 系列采用標(biāo)準(zhǔn)的 RS-485  Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴(kuò)展 至 255 臺(tái)設(shè)備同時(shí)使用。 

應(yīng)用領(lǐng)域 

? 氣相和液相色譜儀 

? 半導(dǎo)體工藝 

? 環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備 

? 微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置（CVD） 

? 氣體發(fā)生器 

? 配氣混氣系統(tǒng)

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